人民財訊2月9日電，2月9日，據中國電科官微消息，SiC外延設備是第三代半導體SiC器件制造的核心關鍵設備之一。裝載著30臺套SiC外延設備從中國電科48所園區(qū)順利發(fā)貨，這也是48所實現首次大規(guī)模批量發(fā)貨。目前，該設備已成功出貨百余臺套，并在客戶現場穩(wěn)定運行。